Установка вакуумного напыления для тонких плёнок, модель АВG3

Настольная установка для вакуумного напыления с камерой из нержавеющей стали

Данная настольная установка для вакуумного напыления с камерой из нержавеющей стали вмещает до двух испарительных источников, каждый из которых способен обеспечивать максимальный ток напыления до 100 А. Установка отвечает требованиям напыления большинства металлов и неметаллов и широко применяется для изготовления электродов и органических светодиодов (OLED).

Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали. В сочетании с молекулярным насосом установка обеспечивает высокий вакуум, соответствующий требованиям среды напыления для большинства материалов. Два испарительных источника расположены симметрично. Каждый источник оснащён отдельной заслонкой (экраном), что предотвращает перекрёстное загрязнение в процессе напыления.

Область применения:

Используется для осаждения тонких плёнок большинства распространённых металлов и неметаллов. Широко применяется для изготовления электродов и органических светодиодов (OLED).

Технические характеристики настольной установки для вакуумного напыления:

Испарительный источник - Вольфрамовая проволочная корзина / вольфрамовая лодочка

Рабочий ток - ≤ 100 А

Материал камеры - Нержавеющая сталь 304

Размер камеры - Ø 194 мм × 220 мм

Столик для образцов - Ø 100 мм

Общая мощность - 2 кВт

Вакуумметр - Резистивный вакуумметр

Вакуумный насос - Двухступенчатый пластинчато-роторный вакуумный насос

Система управления - Профессиональная система управления собственной разработки CYKY

Габаритные размеры - 600 × 600 × 750 мм

 Установка термического напыления

Технические параметры:

Электропитание

Однофазное, 220 В, 50 Гц.

Вакуумная камера

Материал камеры: нержавеющая сталь 304.

Размер камеры: Ø 194 мм × 220 мм.

Смотровое окно: фронтальное, Ø 80 мм, с заслонкой.

Тип открытия: передняя дверца.

Степень вакуума: ≤ 9,0 × 10⁻⁴ Па.

Держатель образцов

Диаметр: Ø 100 мм.

Скорость вращения: 0–20 об/мин, регулируемая.

Ручной ход подъёма: макс. 400 мм.

Высокотемпературный испарительный источник и блок питания

Количество: 1 комплект.

Мощность испарения: 5 В, 1000 Вт.

2 комплекта высокотемпературных испарительных источников с заслонками.

Максимальный ток испарения: 100 А.

Вакуумная система

Форвакуумный насос

Двухступенчатый пластинчато-роторный насос.

Скорость откачки: 2,2 л/с.

С масляным фильтром.

Турбомолекулярный насос

Скорость откачки: 600 л/с.

Бренд: Beijing Taiyueheng.

Номинальная скорость вращения: 24 000 об/мин.

Способ охлаждения: водяное.

Предельный вакуум: 5,0 × 10⁻⁷ Торр.

Комбинированный вакуумметр

Диапазон измерения: 10⁵ Па — 10⁻⁵ Па.

Вакуумметр Пирани + ионизационный датчик.

Система контроля газа

Газовый порт 6,35 мм с ручным клапаном.

  Монитор толщины плёнки (QCM)

Количество каналов: одноканальный.

Точность измерения: 1 Å.

Стандартный кварцевый сенсор: 6 МГц.

Применимый размер кристалла: Ø 14 мм.

Способ охлаждения датчика: водяное.

Дисплей: толщина плёнки и скорость осаждения.

В комплекте 10 кварцевых сенсоров.

Циркуляционный чиллер

Количество: 1 комплект.

Ёмкость бака: 9 л.

Расход: 10 л/мин.

Охлаждающая вода: очищенная или деионизированная.

Система управления

Сенсорный экран 7".

   В стоимость не включены пуско-наладочные работы.